新华网沈阳7月18日电 我国目前惟一的从芯片到整机用微机械加工的硅通用压力传感器生产线，7月16日在沈阳仪器仪表工艺研究所通过了国家科技部创新基金项目验收。这条生产线为国产仪表全面更新换代打下坚实基础。

　　硅通用压力传感器广泛用于石化、电力、管网运输、环保、水利等领域，以前我国大都从国外引进。1996年，沈阳仪器仪表工艺研究所开始从事这项技术及产业化的研究、开发，被国家列为“九五攻关重大项目”。2000年，经市科技局推荐，国家科技部将其列为首批中小企业技术创新基金项目，给予120万元创新基金。经过两年的研制，技术人员攻克了种种技术难题，掌握了利用微电子工艺与微机械加工工艺相融合，批量生产硅通用压力传感器的先进制造技术，并进行了中试生产。产品不仅在工业自动控制领域得到广泛应用，而且在国防安全领域替代了进口，使国外产品大幅度降价。仪表所今年还接到美国一家公司的订单，为其生产100万只传感器芯片。专家经过评审认为，该技术在国内领先。

（辽宁频道摘自《沈阳日报》）